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ST系列镀膜机

ST系列镀膜机系我司标准化产品，满足大部分实验室科研需求，丰富的可选配置也可响应您的特殊需要。特点：1、集成一体化结构。

2、极限真空度高，可达7×10-5Pa，可保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量。

3、从大气到工作背景真空（7×10-4Pa）时间短，30分钟左右（充干燥氮气）。 系统停泵关机12小时后真空度：≤8Pa。

4、整机采用柜式结构，密封性能好，防尘防水，安全。

5、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选。

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真空镀膜设备的日常维护

真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。

设备的维护要有日常维护和定期维护

1,日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象，就马上解决。真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中，需求注意一些问题，才能把检漏作业做好。发现机械泵的油少了就要添加，不要认为这油是定期更换的，等到了时间再维护，到时候可能泵的转子就会磨损严重了。再比如工件转架的轴承有些卡，就要更换轴承，而等到它彻底的坏了再换，问题可就大了，可能引起转架电机烧毁等现象。

2定期维护，有人会问有了日常维护还有必要定期维护吗?其实每一种设备都有自己的使用寿命，比如扩散泵用的的硅油，使用寿命为两年左右，我就规定1年半把它换掉，这样作是不是浪费，我觉得不浪费，从设备服务于生产来说是值得的，老板不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了，在延长设备寿命的同时，生产过程中出现故障的几率也大大降低。多功能真空镀膜机真空镀膜机工作时，需要先抽真空，使真空室处于真空状态，再进行镀膜。生产效率也提高了。

3,设备保养和维修1重要的是讲究“细心”，每一个人都力求做到“我办事，你放心”，也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑!做好这一点可少走好多弯路，其次是要善于分析现象，不能盲目的拆卸。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。说到这里，很多人都遇到过真空方面的漏气问题，真空部分出现了问题很麻烦，再加上我们公司没有检漏仪，这就要分阶段来找。

真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法

制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。真空计：真空计是真空镀膜机器上的重要组成部分，它是检测镀膜机真空度的重要手段。真空状态需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空计的存在，要控制好还是不成问题的。

真空镀膜设备真空泵的选择

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。